平台以上海集成电路研发中心有限公司为主要依托单位，联合上海集成电路技术与产业促进中心、中科院上海微系统与信息技术研究所、复旦大学微分析中心、复旦大学国家集成电路重点实验室、上海华岭集成电路技术有限责任公司等单位，于2013年建成。平台以集成电路工艺研发服务、IP核和设计服务、装备和材料应用评估和验证服务、先进测试技术开发、集成电路封装测试服务等为主要服务项目，为国内集成电路产业链内企业、高校、科研院所提供技术服务，为国内集成电路产业的持续发展起到良性循环推动作用。

上海集成电路制造设备和工艺材料工程化应用工程技术研究中心（以下简称“工程中心”）以上海集成电路研发中心有限公司（以下简称“研发中心”）为依托单位，以增强我国集成电路产业创新能力和市场竞争力为目标，针对集成电路制造设备和工艺材料工程化应用中的关键性问题进行工程化研究开发，以期成为集成电路工艺、设备和材料工程化应用示范中心。 工程中心利用研发中心的设备和资源，在依托单位已有铜互连工艺中试线和12英寸中试线及自有核心技术的基础上，联合产业链的相关资源，为国内外的集成电路设备和材料厂商提供针对12英寸和8英寸芯片主流工艺的制造设备和材料工艺试验、评价及工程化应用的公共服务，为设备和材料企业研发的样机、样品提供工程化应用技术支撑，并协助厂商通过芯片制造商的工艺验证和大生产测试，包括开展设备和材料的各类工艺的应用研发，从而形成我国集成电路制造装备和工艺材料创新和产业化基地。 工程中心依托单位具备开发先进工艺的能力，已成为国内生长线建设和技术升级的重要技术来源和工艺验证平台，同时工程中心依托单位与国内主要集成电路装备和材料厂商均建立了合作关系，联合开展集成电路装备和材料的共同研制并推进大生产应用；自工程中心成立以来，已有部分12英寸国产装备被大生产线采购，一批国产半导体材料包括化学品、特气等应用到我国芯片大生产线上，另有一批国产零配件得到验证和应用；工程中心致力于提升我国集成电路设备和材料产业的自主创新能力和核心竞争力，为降低我国极大规模集成电路制造的工艺开发和成本，促进国家创新体系的建设,为集成电路产业的持续健康发展起到了促进作用。